"폴리싱장치" 특허/실용신안등록 성공 사례 소개

등록특허의 명칭 : 폴리싱장치

특허 출원일자 : 2017.02.09

특허 등록일자 : 2018.08.14

특허 등록번호 : 1018903980000

발명의 요지 :

본 발명에 의한 폴리싱장치는, 상면에 폴리싱필름이 씌워지며 수직방향 중심축을 회전축으로 자전하는 회전판; 

상기 회전판의 상부에 위치하는 폴리싱프레임; 상기 시편이 길이방향 일측에 착탈 가능한 구조로 장착되며 

상기 시편이 상기 폴리싱필름에 접촉되도록 회동 가능한 구조로 상기 폴리싱프레임에 결합되는 복수 개의 시편핑거; 

상기 시편핑거를 회동시키는 핑거조작부;를 포함하여 구성된다. 본 발명에 의한 웨이퍼 시편 가공장치를 이용하면, 

한 번에 다수 개의 시편을 연마시킬 수 있고, 폴리싱필름의 교체 주기를 증가시켜 생산성을 현저히 증가시킬 수 있으며, 

시편을 연마하는 공정을 자동화시킬 수 있다는 장점이 있다.​

경기도 화성시 소재의 고객이 특허법인 메이저를 통해 진행하신

폴리싱장치 성공 사례입니다^^

특허법인 메이저는 모든 권리가 등록될 수 있도록 최선을 다하고 있습니다